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VSH系列數(shù)字組合真空傳感器測量從大氣壓到高真空的絕對壓力。

• 寬測量范圍：寬范圍組合傳感器 Pirani / Bayard Alpert

• 準(zhǔn)確：良好的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性

• 抗吹性：Bayard Alpert 具有抗吹性，釔涂層雙絲

• 堅固：長期測試證實(shí)了良好的使用壽命：高達(dá) 100,000 次沖擊排氣周期

• 長壽命：在較低壓力下開啟熱陰極可提高耐用性

• 智能

• 測量原理：熱傳導(dǎo)皮拉尼/熱陰極 Bayard Alpert, dep.關(guān)于氣體類型

• 測量范圍：1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)

• max過載：4 bar

• 精度：1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.

• 重復(fù)性：10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%

• 發(fā)射電流：9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA

• 脫氣方式：陽極歐姆加熱

• 反應(yīng)時間：50 ms（發(fā)射電流切換<2s）

• 工作溫度：+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)

• 儲存溫度：-40...+65°C

• 烘烤溫度：max法蘭處 180°C（電源關(guān)閉）

• 供電電壓：20 - 30 VDC

• 輸出信號：0 - 10 VDC, min. 10 k，測量范圍 1.219 - 8.6 VDC，log.EtherCAT、Profinet 除外

• 數(shù)字接口：RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet

• 開關(guān)點(diǎn)：2x 繼電器，無電位，49 VAC / 2 A，30 VDC / 2 A，max 60 VA，除了 EtherCAT、Profinet

• 真空連接：DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)

• 防護(hù)等級：高達(dá)IP54（SubD帶XB15SL05適配器）

• 重量：約 475克 (VSH88)